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话你知/EUV技术难度挑战极限
以柔制刚网2024-12-06 21:23:05【知识】7人已围观
简介从传统DUV跨越到EUV，意味光源从193nm剧烈缩短至13.5nm。需要将20Kw激光，以每秒5万次频率来轰击20微米的锡滴，将液态锡汽化成为等离子体。这相当於在飓风裏以每秒五万次频率，让乒乓球打中
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